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小型實(shí)驗設備(蒸發(fā)/磁控)

產(chǎn)品特點(diǎn)

技術(shù)參數

設備型號ZZDS500 蒸發(fā)鍍膜手套箱系統
極限真空5×10-5Pa
抽速大氣~5×10-4Pa≤15min
蒸發(fā)源6個(gè),金屬/有機數量任意搭配
蒸發(fā)源類(lèi)型蒸發(fā)舟or有機、金屬束源爐
樣品尺寸210×210mm,向下兼容
膜厚均勻性≤±3%(見(jiàn)右圖)
均勻性判定(Tmax-Tmin)/(Tmax+Tmin)×100%
蒸發(fā)距離450mm~550mm可調
樣品溫控單加熱模式:室溫~300℃可調
單水冷模式:10~25℃可調
冷熱雙溫模式:10~200℃可調

技術(shù)參數

設備型號ZCJS500 磁控濺射手套箱系統
極限真空5×10-5Pa
抽速大氣~5×10-4Pa≤15min
濺射靶3或4英寸靶,數量≤3
濺射電源射頻/中頻脈沖/直流
樣品尺寸150×150mm,向下兼容
膜厚均勻性≤±5%(見(jiàn)右圖)
均勻性判定(Tmax-Tmin)/(Tmax+Tmin)×100%
濺射距離100mm~±30mm可調
樣品溫控單加熱模式:室溫~300℃可調
冷熱雙溫模式:10~200℃可調
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